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        分子束外延團簇型束源爐

        • 四坩堝團簇型束源爐-QCS
        • 四坩堝團簇型束源爐-QCS
        • 四坩堝團簇型束源爐-QCS
        四坩堝團簇型束源爐-QCS四坩堝團簇型束源爐-QCS四坩堝團簇型束源爐-QCS

        四坩堝團簇型束源爐-QCS

        • 型號:QCS
        • 產品描述:四坩堝團簇型束源爐-QCS應用于有機材料或者金屬蒸發,在一個法蘭孔上集成了獨立的四個源,獨立的四孔源可以實現不同溫度材料的蒸發,蒸發溫度可以達到1100℃??梢詽M足低溫的有機材料蒸發,也可以實現高溫材料的蒸發,也可以實現不同材料的摻雜。
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        QCS四簇源應用于有機材料或者金屬蒸發,蒸發溫度可以達到1100℃,四個獨立的源可以應用于不同材料摻雜,以及不同溫度的材料蒸發。


        產品特點:

        法蘭尺寸:CF40,CF63

        真空腔體內長度:180-400mm,(標準220mm)

        靶基距:100-160mm

        外部烘烤溫度:250℃

        熱偶:K型

        除氣溫度:1100℃

        加熱溫度:25-1000℃

        坩堝容量:200,600 cc

        坩堝材料:PBN,石英,Al2O3

        冷卻方式:冷卻水流速30l/h

        選配:擋板

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