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        分子束外延系統

        • 標準MBE系統-OCTOPLUS 400
        標準MBE系統-OCTOPLUS 400

        標準MBE系統-OCTOPLUS 400

        • 產品型號:OCTOPLUS 400
        • 產品描述:OCTOPLUS 400 是一款通用型MBE系統,非常適合于III/V族, II/VI族,及其他復合半導體材料應用。兼容2-4英寸標準晶片。豎直分割式腔體設計,可以裝配各種源爐,實現不同材料分子束外延生長。
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        OCTOPLUS 400 分子束外延系統是一款通用型MBE系統,非常適合于III/V族, II/VI族,及其他復合半導體材料應用。兼容2-4英寸標準晶片。豎直分割式腔體設計,可以裝配各種源爐,實現不同材料分子束外延生長。


        系統特點:

        ● 用于研發的普適性MBE系統

        ● 應用于III/V族, II/VI族材料外延生長

        ● 適用于2-4英寸樣品

        ● 8個標準的CF法蘭孔(根據要求可以拓展到10個)

        ● 可以升級和選配實現系統擴展

        ● 原位生長表征

        ● 易于使用和方便維護


        我們可以根據所有客戶的要求,提供不同種類的蒸發源,包括K-cell、電子束蒸發源、熱裂解源、閥式裂解源、氣體裂解源等??梢允褂檬⒕д?,反射式高能電子衍射儀(RHEED)或者四極桿質譜儀實現樣品生長的原位監測。 EpiSoft MBE軟件可以精確控制所有的擋板,蒸發源源和樣品臺加熱器溫度。最大程度確保了操作的重復性。

        Octoplus 400的主要特點是極高的可靠性和普適性,以及其占地空間小。這些特點使得我們的系統非常適合于研發。

        標準的Octoplus 400有8個4.5’’(CF63)法蘭口,可以根據需求拓展到10個法蘭口??焖龠M樣室(Loading Chamber)配有高精度磁力傳輸樣品桿,可以在不破壞MBE腔室真空的前提下進行快速樣品傳輸。

        如有設備需求或技術咨詢歡迎隨時聯系我們。


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