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        分子束外延束源爐

        • 硅升華束源爐-SUSI
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        硅升華束源爐-SUSI

        • 產品型號:SUSI
        • 產品描述:硅升華束源爐-SUSI是專門用于生長超薄Si薄膜,Si的III-V族摻雜,GaAs摻雜,超純硅燈絲,全硅設計,束流的控制精度可達到0.1A/s。
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        硅升華束源爐-SUSI是專門用于生長超薄Si薄膜,Si的III-V族摻雜,GaAs摻雜,超純硅燈絲,全硅設計。束流的控制精度可達到0.1A/s。


        產品特點:

        專門用于生長Si薄膜;

        III-V族和GaAs應用中的Si摻雜;

        高純材料設計;

        水冷設計的電學接觸;

        全硅材料設計束源爐;



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