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        分子束外延裂解源

        • 氧原子源-OBS
        • 氧原子源-OBS
        氧原子源-OBS氧原子源-OBS

        氧原子源-OBS

        • 產品型號:OBS
        • O原子裂解效率可達到80%
        • 產品描述:氧原子源是一種熱模式的氣體裂解源,可以產生沒有離子狀態的H原子束流,可以有效避免離子轟擊對襯底的影響。
        • 在線訂購

        原子源-OBS是一種熱模式的氣體裂解源,可以產生沒有離子狀態的H原子束流,可以有效避免離子轟擊對襯底的影響。


        特點:

        原子裂解效率可達到:80%

        原子氫密度高達10^15/s*cm2

        沒有高能粒子和離子存在

        低功耗

        集成水冷


        如有設備需求或技術咨詢歡迎隨時聯系我們。

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