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        分子束外延束源爐

        • 高溫束源爐-HTS
        • 高溫束源爐-HTS
        高溫束源爐-HTS高溫束源爐-HTS

        高溫束源爐-HTS

        • 產品型號:HTS
        • 產品描述:高溫源HTS允許高蒸汽壓的材料蒸發,因此可以在高束流速度下實現材料非常均勻地化合沉積。這可以通過最高加熱到2000℃的一個較淺的寬口坩堝來實現。典型的應用是Si的MBE中P摻雜或者Ge蒸發。 HTS高溫源坩堝下平方的燈絲有著重要作用。較短的坩堝長度和加熱絲較好的屏蔽作用在坩堝內部提供了非常均勻的加熱分布。 經典的HTS配備了自立式熱解石墨燈絲,并首先運用于Si的MBE系統。它的設計是由碳升華源
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        HTS/HTS-W高溫源用于高蒸汽壓的材料蒸發,因此可以在高束流速度下實現材料非常均勻地化合沉積。典型應用是MBE中做P-型摻雜時升華P或者Si太陽能電池研究和SiGe的MBE系統中Ge升華,也可以用于CaF2,Ti,Ni,Cr,Au,Er,La等材料。


        特點:

        安裝法蘭:DN40CF/DN63CF/DN100CF

        真空內長度:250~400 mm

        加熱燈絲類型:HTS:石墨燈絲

        HTS-W:兩層W燈絲

        燈絲屏蔽:HTS:完全由石墨部件屏蔽

        HTS-W:鉭輻射罩屏蔽

        熱偶:W5%Re/W26%Re( C型)

        加熱溫度:最高2000℃

        除氣溫度:最高2000℃

        外部烘烤溫度:250℃

        冷卻方式:集成水冷 / 獨立冷屏

        坩堝容量:5/25/200 cc

        坩堝材料:C/W/PBN/BeO

        選配:擋板


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